模拟评价

模拟评价

涂覆-曝光-显影-蚀刻-清洗全流程仿真平台

PROCESS SIMULATION

复刻客户制程的模拟实验线

围绕 docx 中“涂覆、曝光、显影、蚀刻等全流程模拟能力”的要求,搭建覆盖液配、涂布、曝光、显影、蚀刻、清洗、烘干、检测的闭环平台,实现实验室端的快速验证。

涂布/曝光模块

支持多种基板尺寸与转速窗口,精准控制膜厚与曝光能量。

  • 匀胶机 + 热板组合
  • I-Line / DUV 曝光系统
  • 在线膜厚监测

显影/蚀刻模块

可模拟金属、ITO、玻璃等多种对象,匹配公司蚀刻、剥离配方。

  • 多段温控显影
  • 湿法/干法蚀刻联动
  • 残留物在线检测

清洗/评价模块

通过 SEM/AFM/光学检测手段,复盘缺陷模式,优化配方。

  • 超声/超纯水清洗
  • 缺陷库 & 评价指引
  • 与客户良率指标对标
DELIVERABLES

模拟评价输出的三大价值

坚持“快速验证-迭代优化-联合交付”,帮助客户缩短导入周期。

模拟价值

1. 参数窗口指引:针对不同配方输出厚度、温度、pH、速度等建议范围。

2. 缺陷库与根因分析:建立光刻、蚀刻等典型缺陷图谱,定位原料或工艺问题。

3. 客户联合验证:驻场工程师携结果进驻客户线体,完成小批试运行。

SIMULATION LIST

典型模拟项目列表

覆盖光学玻璃、显示面板、半导体三个主力行业的关键工序,确保产品能顺利导入终端应用。

行业 模拟项目 评价指标 典型成果
光学玻璃 离子交换、抛光清洗 应力层深度、表面缺陷 输出可视化工艺窗口
显示面板 ITO 蚀刻、PI 涂布显影 线路完整性、侧壁形貌 配方/工艺联合优化报告
半导体 光刻胶剥离、湿法清洗 金属残留、颗粒控制 客户导入验证记录